| Laurell勻膠機WS-650Mz-8NPPB |
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價格:\u9762\u8bae 元(人民幣) | 產地:湖北武漢 |
| 最少起訂量:1 | 發貨地:湖北武漢 | |
| 上架時間:2023-09-13 19:07:41 | 瀏覽量:150 | |
武漢邁可諾科技有限公司
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| 經營模式:代理商 | 公司類型:私營有限責任公司 | |
| 所屬行業:實驗室設備/實驗室儀器 | 主要客戶:高校實驗室科研單位 | |
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勻膠機(英文名:Spin?Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜? 詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin?Coater&?Spin?Processor)? 行業俗稱:勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、涂層機
一、產品概述: ????650型勻膠機適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動,可以 半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650型勻膠機的特點。 二、勻膠機工作原理: ????勻膠機(spin?coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。 三、勻膠機主要性能指標: 1、腔體尺寸:12.5英寸?(381?毫米); 2、Wafer芯片尺寸:10-200mm直徑的材料,方片178x178mm,小于10mm提供3mm的轉接托盤); 3、轉動速度:0-12,000rpm,? 4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載); 5、馬達旋涂轉速:穩定性能誤差?<?±1; 6、轉速調節精度 lt;0.2rpm,重復性<?0.2rpm; 7、工藝時間設定:1-5999.9?sec/step?0.1?精度; 8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方; 9 數碼控制器:PLC控制,設置點精度小于0.006。 10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態; 11、分辨率:分辨率小于0.5轉/分,可重復性小于±0.5轉/分,美 準技術研究院(NIST)認證過的,并且無需再校準!] 12、配套真空泵系統:無油型?220~240伏交流,50/60赫茲; 13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件; 14 水平測試儀;?? 15、兩袋密封圈;?? 16、廢液接收單元;
可選配置: IND構造為濕站系統設計,帶遠程控制; OND構造為手套箱系統設計,帶遠程控制; UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒, EBR(Edge?Bead?Remover):晶圓去邊,機械裝置; |
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