| 產(chǎn)品參數(shù) |
| 品牌 | OKAMOTO |
| 行程 | 電儀 |
| 重量 | 3900kg |
| 工作方式 | 自動(dòng) |
| 介質(zhì) | 電儀 |
| 加工批量 | 電儀 |
| 驅(qū)動(dòng)功率 | 電儀 |
| 加工定制 | 否 |
| 研磨籃容量 | 電儀 |
| 產(chǎn)地 | 日本 |
| 主軸數(shù) | 2 |
| 主軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~3600rpm |
| 工作盤轉(zhuǎn)速范圍 | 1~300rpm |
| 最大加工直徑 | Ф200㎜ |
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
| 型號(hào) | GNX200B | |
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OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機(jī)特點(diǎn)：
GNX200B擁有BG研磨專利技術(shù)。
日本機(jī)械學(xué)會(huì)授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng)
主軸機(jī)械精度可調(diào)
岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化，精度持久
潤(rùn)滑系統(tǒng)有完善防護(hù)，避免異物進(jìn)入造成磨損
適用晶圓尺寸： 4”、5”、6”、8” 最大晶圓厚度： 1000μm
可切換全自動(dòng)、半自動(dòng)操作模式
17 寸觸控操作與監(jiān)控屏，監(jiān)控氣壓、電流、水流、厚度等
研磨耗材損耗小，加工成本低廉
研磨硅屑細(xì)小，沖洗更干凈
OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機(jī)規(guī)格參數(shù)：
最大加工直徑：Ф200㎜
主軸轉(zhuǎn)速范圍：0~3600rpm
主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)功率：2.2kW/4kW
主軸進(jìn)給速度范圍：1~999μm/min
主軸數(shù)：2
工作盤轉(zhuǎn)速范圍：1~300rpm
研磨輪尺寸：Ф250㎜
設(shè)備整重：3900kg
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