| 產(chǎn)品參數(shù) |
| 品牌 | Aerotech |
| 產(chǎn)地 | 美國(guó) |
| 是否進(jìn)口 | 是 |
| 特點(diǎn) | 在長(zhǎng)達(dá) 160 mm 的行程長(zhǎng)度內(nèi)提供納米級(jí)定位性能 |
| 優(yōu)點(diǎn) | 完美地結(jié)合了精度、可重復(fù)性、速度和可靠性 |
| 精度 - 基本性能 | ±2.5 微米、±3 微米、±4 微米 |
| 平整度 | ±1.5 微米、±2 微米 |
| 負(fù)載能力 - 垂直 | 14 千克 |
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 無(wú)刷直線伺服電機(jī) |
| 最大總線電壓-CN1 | 80 VDC |
| 可售賣(mài)地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
| 用途 | 半導(dǎo)體加工與檢測(cè)等 |
| 型號(hào) | ANT130LZS | |
ANT130LZS位移臺(tái)以超低的外形代表了垂直運(yùn)動(dòng)性能的巔峰。具有極低摩擦特性的雙側(cè)安裝氣動(dòng)平衡塊,它們完美地結(jié)合了精確性、可重復(fù)性、速度和可靠性。ANT130LZS位移臺(tái)具有令人印象深刻的動(dòng)態(tài)性能和充足的承載能力,當(dāng)您需要在緊湊的外形中實(shí)現(xiàn)卓越的垂直運(yùn)動(dòng)時(shí),它是理想的選擇。
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
?增強(qiáng)型第二代設(shè)計(jì)
?實(shí)現(xiàn)1 nm的最小增量運(yùn)動(dòng)-新的
?在長(zhǎng)達(dá)160毫米的行程范圍內(nèi)提供納米級(jí)定位性能
?提供超薄的側(cè)面安裝的雙平衡塊,能夠抵消高達(dá)14千克的有效載荷,在垂直方向上實(shí)現(xiàn)超精確的性能
?采用高精度交叉滾子軸承,具有出色的動(dòng)態(tài)性能和充足的負(fù)載能力
?利用無(wú)鐵芯直接驅(qū)動(dòng)線性電機(jī)最大限度地提高生產(chǎn)能力和可靠性
?輕松集成到多軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中
關(guān)鍵應(yīng)用:
ANT130LZS載物臺(tái)是高精度和高動(dòng)態(tài)垂直定位應(yīng)用的理想選擇,具有最小的占地面積要求,包括:
?光子組裝和檢測(cè)
?光纖對(duì)齊和優(yōu)化
?光學(xué)制造、測(cè)試和檢驗(yàn)
?傳感器測(cè)試和認(rèn)證
?半導(dǎo)體加工與檢驗(yàn)
?研究和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用
行業(yè)領(lǐng)先的運(yùn)動(dòng)性能:
出色的精度、位置可重復(fù)性和在位穩(wěn)定性要求極高的系統(tǒng)分辨率。現(xiàn)在,ANT130LZS提供了改進(jìn)的高性能編碼器選項(xiàng),可以輕松實(shí)現(xiàn)1 nm的最小增量步長(zhǎng)。我們的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)沒(méi)有滯后或反沖,能夠?qū)崿F(xiàn)精確和可重復(fù)的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)。此外,影響最小的配重設(shè)計(jì)可抵抗有效負(fù)載產(chǎn)生的重力,從而實(shí)現(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的性能和最佳的熱穩(wěn)定性。
非接觸式直接驅(qū)動(dòng):
只有非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)能夠提供大規(guī)模生產(chǎn)精密設(shè)備所需的穩(wěn)健、精確和高速定位。ANT130LZS載物臺(tái)使用我們先進(jìn)的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)最高水平的定位性能。ANT130LZS配有抗蠕變交叉滾子軸承,可提供超平滑、一致的運(yùn)動(dòng)和出色的動(dòng)態(tài)特性,從而提高您的加工能力。優(yōu)化的驅(qū)動(dòng)器和軸承組合封裝在薄型外形中,在許多應(yīng)用中提供獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì),例如高精度定位、光纖對(duì)準(zhǔn)、光學(xué)器件制造和檢測(cè)、傳感器測(cè)試和掃描過(guò)程,這些應(yīng)用需要平穩(wěn)和精確的運(yùn)動(dòng)。
靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì):
ANT130LZS系列具有通用安裝和桌面模式,便于系統(tǒng)集成。兩個(gè)、三個(gè)或更多軸可以很容易地結(jié)合起來(lái),以實(shí)現(xiàn)靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和多軸配置。ANT130LZS載物臺(tái)可輕松與其他產(chǎn)品結(jié)合,包括ANT130L、ANT130XY、ANT130R、ANT20G、AGS龍門(mén)架等,以提供復(fù)雜的多自由度運(yùn)動(dòng)和定位解決方案。
機(jī)械的

注意事項(xiàng):
1.通過(guò)每個(gè)階段的認(rèn)證。
2.需要選擇具有足夠電壓和電流的適當(dāng)放大器。
3.原位穩(wěn)定性報(bào)告為3-sigma值。需要1 Vpp編碼器。
4.有效負(fù)載規(guī)格假設(shè)有效負(fù)載在軸上居中。
5.報(bào)告了在臺(tái)面上方25 mm處測(cè)量的單軸的規(guī)格。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點(diǎn)。對(duì)于多軸或非標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,請(qǐng)咨詢(xún)工廠。
6.另外,性能要求使用Aerotech控制器。
7.為了確保在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)達(dá)到規(guī)格并保持可重復(fù)性,環(huán)境溫度必須控制在每24小時(shí)0.25°C以?xún)?nèi)。更多信息請(qǐng)咨詢(xún)工廠。
8.氣動(dòng)平衡的氣源必須清潔、干燥至0°F露點(diǎn),并過(guò)濾至0.25 m或更高。Aerotech建議使用純度為99.9的氮?dú)狻9┙o壓力由載物臺(tái)承載的有效載荷量決定。
與電有關(guān)的:




