Entegris過濾器-散裝氣體過濾器
Entegris過濾器-散裝氣體過濾器
Entegris是材料完整性管理的全球領導者。該公司提供技術,產品和服務解決方案,凈化,保護和運輸半導體和其他高科技行業中使用的關鍵材料。這些解決方案在全球制造和服務,并在美國,中國,法國,德國,日本,馬來西亞,新加坡,韓國和臺灣提供支持。Entegris獲得ISO 9001認證。
Entegris公司主要產品:Entegris過濾器。
Entegris有長期的承諾質量的傳統。Entegris為獲得ISO 9001:2000認證,Entegris的質量管理體系的基礎以及ISO 14001認證感到自豪。此外,Entegris聘用許多其他質量工具,流程,控制和政策 - 所有開發,以滿足苛刻的需求Entegris的流程和Entegris的客戶的獨特需求。ISO 9001認證承諾客戶滿意度的組織自愿追求Entegris的設計,制造和服務流程的質量。它驗證Entegris的產品和服務是用符合全球標準的書面質量控制程序生產的。
Entegris過濾器-散裝氣體過濾器
當涉及空氣,散裝氣體或規格氣體的過濾和凈化時,Entegris擁有專業知識,技術和解決方案,以滿足您的需求。無論是使用點還是散裝氣體輸送,在室內還是在晶片上,在潔凈室或工具上,Entegris都有提供高性能氣體和空氣凈化和過濾產品以滿足您的需求的悠久歷史。
Entegris超純氣體過濾產品為超純氣體應用提供0.003微米顆粒過濾。Wafergard®氣體過濾器可實現更高的工藝氣體通量,同時減少整個氣體盒的占地面積。
用于超高純度(UHP),高流量氣體管線的Wafergard®II SF 3XP迷你在線氣體過濾器均為316L不銹鋼收縮管,設計流量比同類過濾器高三倍,高于三位數。設計用于高達500 SLPM的中等流速,推薦過濾UHP高流量應用,如擴散,退火,外延工具和連接。
產品參數:
長度
84 mm(3.31“) 94 mm(3.70“) 126.9 mm(5.00“) 133.5 mm(5.26“)
最大流量
200 slpm
處理
散裝氣體輸送 光刻 沉積 干蝕刻 離子植入
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 LED。
產品型號:Wafergard®II SF 3XP、Wafergard®II SF Half、Wafergard®SF、Wafergard®II SF 3XP Mini XL、Wafergard®SF Micro XL、Unigard™、Gasketgard®。
Entegris過濾器-散裝氣體過濾器該產品種類齊全,品質優良,如您有意購買,歡迎來電咨!