INFICON薄膜沉積監控器
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標準輸入，另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個記錄器輸出提供模擬速度和厚度信號。
INFICON薄膜沉積監控器
傳感器輸入可分配給不同的材料，在大型系統中平均分配以實現精確的沉積控制，或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器，從而延長傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用戶可自行選擇。此外，還可以選擇頻率或質量顯示。憑借四個繼電器輸入，SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號時間和厚度設定點以及信號晶體失效。數字輸入允許外部信號啟動/停止和歸零讀數。
INFICON薄膜沉積監控器
產品功能：
兩個標準測量通道，另外四個可選
模擬輸出便于記錄速率/厚度
高分辨率選項： 每秒 10 個讀數時 0.03 赫茲
RS-232 標準接口，可選擇連接 USB 或以太網。
INFICON薄膜沉積監控器
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