INFICON傳感器 射頻傳感器
INFICON 射頻傳感技術能夠為半導體過程工具提供高度準確、寬頻、頻率判別式射頻測量。通過此射頻數據，可以詳細了解過程開發和生產過程問題中的實際等離子狀態，大幅降低過程變異性。
INFICON傳感器 射頻傳感器
此款非接觸嵌入式電纜安裝的射頻傳感器是其先進過程控制 現場 傳感器套件中的最新款傳感器，可以與 FabGuard 傳感器集成與分析系統結合使用，提供關鍵診斷信息，例如準確的腔室和過程功率與阻抗測量、故障根本原因分析（例如匹配網絡問題）、用于腔室匹配的過程“指紋”識別以及 PVD、CVD 和蝕刻應用的晶片計量建模。
INFICON傳感器 射頻傳感器
INFICON 射頻傳感器技術利用 FabGuard 打造了高精確的產品，可通過對基本電壓電流和諧波電壓電流進行測量與分析（包括相角測量），預測晶片計量結果，因而工程師能夠控制每個加工晶片的實際晶片計量結果。現在，FabGuard 獨一無二的強大算法性能與射頻傳感技術完美結合，可以基于實時測量以及易于理解的用戶界面所提供的相關性分析，顯著提高半導過程的可重復性、穩定性和準確性。
產品功能
CVD 應用
- 晶片計量建模（薄膜應力、薄膜厚度）
- 對過程腔室提供的真正功率進行有功功率控制
- FDC（例如等離子體不穩定性、充電）
- 腔室匹配（射頻指紋）
PVD 應用
- 晶片計量建模（電阻率）
- FDC
- 腔室匹配（射頻指紋）
蝕刻應用
- 晶片計量建模（蝕刻速率）
- 對過程腔室提供的真正功率進行有功功率控制
- FDC
- 腔室匹配（射頻指紋）。
INFICON傳感器 射頻傳感器
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