主體構造特點
主體:設備為半敞開式，主體使用進口 WPP15 和 10mm 厚板材，結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環境，堅固耐用，雙層防漏，機臺底盤采用德國產瓷白 PP板，熱焊接 而成，可長期工作在酸堿腐蝕環境中.
骨 架:鋼骨架+PP 德國勞施領板組合而成，防止外殼銹蝕.
安全門:前側下開透明安全門，腳踏控制.
工藝槽:模組化設計，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統一的承漏底盤中.底盤采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機臺的滲漏危險.
管路系統:位于設備下部，所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標簽注明；藥液管路采用 PFA 管，純水管路采用白色 NPP 噴淋管，化學腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用 管道排放.
電氣保護:電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區，電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設備性能運行穩定可靠；所有可能與酸霧接觸的電氣及線路 均經 PFA 防腐隔絕處理，電氣柜 CDA/N2 充氣保護其中的電器控制元件.
排 風:后部排風和下沉式設計，風量可調節，對操作員有安全保護.
送風:設備頂部有 FFU 百級凈化送風裝置，設備沿前側板鑲嵌入墻體，保證后上部送風
水:機臺前部配備有 PTFE 純水槍和 PTFE 氮各 1 只置于右側，方便操作員手工清洗槽體或工件.
控制系統
PLC可程式控制器（歐姆龍）＋PROFACE 彩色人機界面操作。
模塊化軟件、硬件設計，減少故障幾率，便于安裝和維護；
空氣開關、斷路器、電磁閥、按鈕、氮氣調壓閥，針閥、三色等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等電氣產品，安全可靠；
配備漏電斷路保護、隔離變壓器、漏液檢測、EMO開關等安全保護裝置；
所有程序參數可修改，操作模式可分為自動/手動，加液和花籃傳遞為手動；
電路區功能分塊，強電、弱電塊，便于維護；
電氣控制部分均有清晰的標簽注明
具密碼保護功能以避免操作人員誤改參數：
Password-1.啟動及可進入自動模式內容。
Password-2可進入手動模式。
Password-3可進入編輯模式修改制程參數。
江蘇英思特半導體科技有限公司是一家集研發、設計、制造和銷售為一體的專業太陽能、LED和半導體清洗設備供應商。以優質的產品和優良的服務贏得了各界用戶的贊許和信賴。目前，公司主要產品有：多晶制絨硅片清洗機，濕法刻蝕硅片清洗機，全自動單晶制絨清洗機，全自動去磷硅玻璃清洗機，全自動硅料/硅片清洗硅片槽式清洗設備