檢漏儀發展的歷史
第二次世界大戰中期，美國為了制造原子彈，在田納西州的橡樹嶺（Oak Ridge）建立的大規模分離鈾-235 的工廠。為了探測電磁分離器真空系統中的漏孔，1943 年由明尼蘇達州大學的 A.O.C.Nier 設計了世界上第一臺具有簡易氣體分析器的玻璃外殼的質譜檢測儀。它使用一個熱燈絲陰極，并且以氦氣做示蹤氣體，1944 年由美國通用電氣公司投入生產。后來 Dr. Jacobs 制成了全金屬的質譜管和真空系統。1945 年韋斯門毫斯公司與真空電子工程公司開始生產氦質譜檢測儀，它對氦的靈敏度只有10-7Pa·m3/s。1945 年以后，氦質譜檢漏儀經過不斷改進與發展，在提高儀器靈敏度、穩定性、可靠性、操作自動化、便于維修、縮小體積、減輕重量和降低成本等方面都有了較大進步。1950 年其靈敏度達到10-10Pa·m3/s，1959 年，T.L.Perers首先提出了用二級磁場分析器和電子倍增器的方法，靈敏度達到 10-14Pa·m3/s.1961 年，Doctoff 應用了高效率的軸向離子源和差級抽氣裝置，做出了靈敏度為 3.7×10-14Pa·m3/s 的儀器。1965 年 9 月，我國蘭州物理研究所的金建中院士和范垂禎研究員采用軸向離子源、雙方向聚焦兩級非均勻磁場和差級抽氣的方法做出了最小可檢漏率達到 5×10-14Pa·m3/s 的氦質譜檢漏儀。1967 年 B.U.Kopnol提出用分子篩冷吸附泵與質譜檢漏儀連用提高氦質譜檢漏靈敏度的方法，使靈敏度由 10-11Pa·m3/s 提高到 10-14Pa·m3/sL.Verheyden采用累積法使氦質譜檢漏儀的靈敏度由 10-11Pa·m3/s 提高到 10-16Pa·m3/s.特別是 1970年美國國家實驗室的瓦爾·布里格斯（Watter Briggs）提出了逆流檢漏的原理后，不僅使便攜式氦質譜檢漏儀得到了很快的發展，而且解決了氦質譜檢漏儀對大漏率的檢測問題。目前，氦質譜檢漏技術已成為靈敏度最高、應用范圍最廣的一門檢漏技術。
隨著社會的進步，環保和安全意識的提高，氦質譜檢漏技術在航空航天、軍工、科研、石油化工、制冷、醫療半導體、管道檢漏、超導實驗、金屬制造、深海潛水、高精度焊接、光電子產品生產等領域。
