液壓伺服閥包括：滑閥式伺服閥、噴嘴擋板式伺服閥、射流管式伺服閥。
滑閥式伺服閥：采用動圈式力馬達，結構簡單，功率放大系數較大，滯環小和工作行程大；固定節流口尺寸大，不易被污物堵塞；主滑閥兩端控制油壓作用面積大，從而加大了驅動力，使滑閥不易卡死，工作可靠。
噴嘴擋板式伺服閥：該伺服閥，由于力反饋的存在，使得力矩馬達在其零點附近工作，即銜鐵偏轉角θ很小，故線性度好。此外，改變反饋彈簧桿11的剛度，就能在相同輸入電流時改變滑閥的位移。該伺服閥結構緊湊，外形尺寸小，響應快。但噴嘴擋板的工作間隙較小，對油液的清潔度要求較高。
射流管式伺服閥：對油液的清潔度要求較低。缺點是零位泄漏量大；受油液粘度變化影響顯著，低溫特性差；力矩馬達帶動射流管，負載慣量大，響應速度低于噴嘴擋板閥。
由永磁動圈式力馬達、一對固定節流孔、預開口雙邊滑閥式前置液壓放大器和三通滑閥式功率級組成。前置控制滑閥的兩個預開口節流控制邊與兩個固定節流孔組成一個液壓橋路。滑閥副的閥心（控制閥芯）直接與力馬達的動圈骨架相連，（控制閥芯）在閥套內滑動。前置級的閥套又是功率級滑閥放大器的閥心。
一、輸入控制電流使力馬達動圈產生的電磁力與對中彈簧的彈簧力相平衡，使動圈和前置級（控制級）閥心（控制閥芯）移動，其位移量與動圈電流成正比。前置級閥心（控制閥芯）若向右移動，則滑閥右腔控制口·面積增大，右腔控制壓力降低；左側控制口·面積減小，左腔控制壓力升高。該壓力差作用在功率級滑閥閥心（即前置級的閥套）的兩端上，使功率級滑閥閥心（主滑閥）向右移動，也就是前置級滑閥的閥套（主滑閥）向右移動，逐漸減小右側控制孔的面積，直至停留在某一位置。在此位置上，前置級滑閥副的兩個可變節流控制孔的面積相等，功率級滑閥閥心（主滑閥）兩端的壓力相等。這種直接反饋的作用，使功率級滑閥閥心跟隨前置級滑閥閥心運動，功率級滑閥閥心的位移與動圈輸入電流大小成正比。