任何一臺機器人即使在同一環境、同一條件、同一動作、同一命令之下，每一次動作的位置也不可能完全一致。例如，對某一個型號的機器人的測試結果為：在20 mm/s、200 mm/s的速度下分別重復10次，哈默納科HD精度過濾設備諧波傳動 HPN-40A-10-J8JG其重復定位精度為0.4 mm，，則重復定位精度為 ±0.2 mm，指所有的動作位置停止點均在以平均值位置為中心的0.2 mm范圍內。
L-1000型CO2氣體激光切割機器人是極坐標式5軸控制機器人，配用C1000～C3000型激光器。光束經由設置在機器人手臂內的4個反射鏡傳送，聚焦后從噴嘴射出。反射鏡用銅制成，表面經過反射處理，使光束傳遞損失不超過0.8%，且焦點的位置精度較高。
為了防止反射鏡受到污損，光路完全不與外界接觸，同時還在光路內充入經過濾器過濾的潔凈空氣，并具有一定的壓力，從而防止周圍的灰塵進入。