SnO2薄膜氣敏器件因具有良穩(wěn)定性、能在較低溫度下、檢驗(yàn)氣體多、工藝成熟等,是主流。此外,F(xiàn)e2O3也是廣泛和材料。除傳統(tǒng)SnO、SnO2和Fe2O3三大類外,又一批新型材料,包括單一金屬氧化物材料、復(fù)合金屬氧化物材料以混合金屬氧化物材料。這些新型材料和,大大提高氣體傳感器特性和。
非電阻型也是一類較為常見半導(dǎo)體氣敏器件,這類器件方便,無需設(shè)置溫度,易于集成化,得到廣泛。有結(jié)型和MOSFET型兩種。
同體電解質(zhì)在高溫下才會有明顯導(dǎo)電性。氧化鋯ZrO2是典型氣體傳感器材料。純正氧化鋯在常溫下是單斜晶,當(dāng)溫度升到1000℃左右時(shí)就會發(fā)生同質(zhì)異晶轉(zhuǎn)變,由單斜晶變?yōu)槎嗑В殡S體積收縮和吸熱反應(yīng),因此是。在ZrO2中摻入穩(wěn)定劑如:堿土氧化鈣CaO或稀土氧化釔Y2O3,使其成為穩(wěn)定熒石立方晶體,穩(wěn)定程度與穩(wěn)定劑濃度有關(guān)。
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