當加入負偏置電壓時，載流子沒有變化，這是肖特基二極管的整流特性。在大氣中，由于吸附氫，貴金屬的功率函數發生變化，接觸屏障減小。由于載流子的增加，正電流增加，二極管的整流特性曲線將左移。測氫氣濃度。
4 .穩定性的實際應用中，UT具有隨時間漂移的特性，因此通過在HCl氣氛中生長SiO2絕緣層，能夠顯著改善UT的漂移。 氫以外的氣體不能通過鈀柵。 制作其他氣體的Pd—MOSFET氣體傳感器采取了一定的對策，制作CO敏MOSFET時如果在鈀柵上制作約20nm的小孔，則允許CO氣體通過。 再見于Pd—MOSFET對氫氣有較高的靈敏度，而對CO的靈敏度卻較低，為此可在鈀柵上蒸發一層厚約20nm的鋁作保護層，阻止氫氣通過。鈀對氨氣分解反應的催化作用較弱，為此，要先在SiO2絕緣層上沉淀一層活性金屬，如Pt、Ir、La等。再制作鈀柵，可制成氨氣敏MOSFET。
固態電解質溶液是一種具備與電解質溶液溶液同樣的電離導電性特點的固體化學物質，當作為氣體傳感器時，這是一種充電電池。它不用使汽體歷經透氣膜溶解鋰電池電解液中，能夠 防止水溶液揮發和電級耗費等難題。因為這類控制器導電率高，敏感度和可選擇性好，基本上在石油化工、環境保護、煤業、食品類等各行各業都獲得了普遍的運用，其必要性僅次子金屬材料—金屬氧化物一半導體氣體傳感器。