工作溫度對傳感器靈敏度有影響，下圖左圖為sno2氣體傳感器對不同氣體溫度的電阻特性曲線，表明該裝置在不同溫度下對不同氣體的靈敏度不同，可以識別氣體類型，制備過程對sno2氣體靈敏度有很大影響。
按品質測算，在SnO2中添加3～5％的ThO2，5％的Sm2．在600℃的H2氛圍中煅燒，做成厚膜元器件，操作溫度為400℃。則可做為CO檢驗元器件。圖中下圖是煅燒溫度為600℃時氣敏元器件的特點。可看得出，操作溫度在170～200℃范圍之內，對H2的敏感度曲線圖呈雙曲線，而對CO更改操作溫度則危害并不大，因而，利用器件這一特性可以檢測H2。而燒結溫度為400℃制成的器件，工作溫度為200℃時，對H2、CO的靈敏度曲線形狀都近似呈直線，但對CO的靈敏度要高得多，可以制成對CO敏感的氣體傳感器。
非電阻型也是比較常見的半導體氣敏設備，這種設備易于使用，無需設置工作溫度，易于集成化，得到廣泛應用。 主要有結型和MOSFET型兩種。 結型氣體傳感器裝置也稱為氣體傳感器二極管，這種氣體傳感器裝置利用氣體改變二極管的整流特性而工作。 其結構如下圖左圖所示。 貴金屬Pd對氫有選擇性，與半導體接觸成接觸勢壘。當二極管加正向偏壓時，從半導體流向金屬的電子將增加，因此正向是導通的。