氣體傳感器說明

非電阻型也是一類較為常見半導體氣敏器件，這類器件方便，無需設置溫度，易于集成化，得到廣泛。有結型和MOSFET型兩種。

結型氣敏傳感器件又稱氣敏二極管，這類氣敏器件是利用氣體改變二極管整流特性來。其如下左所示。它是：貴金屬Pd對氫氣具有性，它與半導體接觸形成接觸勢壘。當二極管加正向偏壓時，從半導體流向金屬電子將增加，因此正向是導通。

氣體傳感器規格

1、靈敏度

當氫氣濃度較低時，氫氣敏MOSFET靈敏度很高，1ppm氫氣濃度變化，△UT值可10mV，當氫氣濃度較高時，傳感器靈敏度會降低。

2、對氣體性

鈀原子間“空隙”恰能讓氫原子通過，因此，鈀柵只允許氫氣通過，有很性。

3、響應時間

這種器件響應時間受溫度、氫氣濃度影響，溫度越高，氫氣濃度越高，響應越快，常溫下響應時間為幾十秒。

氣體傳感器描述

4、穩定性

實際中，存在UT隨時間漂移特性，為此，采用在HCl氣氛中生長一層SiO2絕緣層，顯著改善UT漂移。

除氫氣外，其他氣體不能通過鈀柵，其他氣體Pd—MOSFET氣敏傳感器要采用一定措施，如CO敏MOSFET時要在鈀柵上約20nm小孔，就允許CO氣體通過。另外，由于Pd—MOSFET對氫氣有較高靈敏度，而對CO靈敏度卻較低，為此可在鈀柵上蒸發一層厚約20nm鋁作保護層，阻止氫氣通過。鈀對氨氣反應催化較弱，為此，要先在SiO2絕緣層上沉淀一層活性金屬，如Pt、Ir、La等。再鈀柵，可制成氨氣敏MOSFET。

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氣體傳感器說明

氣體傳感器規格

氣體傳感器描述