氣體傳感器是氣體檢測系統的核心，通常設置在探針內。 本質上，氣體傳感器是將某種氣體的體積分率轉換成電信號的轉換器。 探頭用氣體傳感器調整氣體樣品，通常去除雜質和干擾氣體，干燥和制冷處理，抽樣，進而化學處理樣品，使化學傳感器能夠更快地測量。
可知SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料具有氣敏效果. 由這些金屬氧化物制成的氣敏膜是阻抗元件，在氣體分子和敏感膜之間交換離子，發生還原反應，引起敏感膜電阻的變化。 作為傳感器，這種反應必須是可逆的，即為了去除氣體分子，必須發生一次氧化反應。 傳感器內的加熱器有助于氧化反應進程。
4、可靠性具體運用中，存有UT隨時間飄移的特點，因此，選用在HCl氛圍中生長發育一層SiO2電纜護套，能夠 明顯改進UT的飄移。除氡氣外，別的汽體不可以根據鈀柵，制做別的汽體的Pd—MOSFET氣敏傳感器要選用一定對策，如制做CO敏MOSFET時要在鈀柵上制做約20nm的小圓孔，就能夠 容許CO汽體根據。此外，由于Pd—MOSFET對氫氣有較高的靈敏度，而對CO的靈敏度卻較低，為此可在鈀柵上蒸發一層厚約20nm的鋁作保護層，阻止氫氣通過。鈀對氨氣分解反應的催化作用較弱，為此，要先在SiO2絕緣層上沉淀一層活性金屬，如Pt、Ir、La等。再制作鈀柵，可制成氨氣敏MOSFET。