
按質(zhì)量計(jì)算,在SnO2中加入3~5%的ThO2,5%的Sm2.在600℃的H2氣氛中燒結(jié),制成厚膜器件,工作溫度為400℃。則可作為CO檢測(cè)器件。上圖右圖是燒結(jié)溫度為600℃時(shí)氣敏器件的特性。可看出,工作溫度在170~200℃范圍內(nèi),對(duì)H2的靈敏度曲線呈拋物線,而對(duì)CO改變工作溫度則影響不大,因此,利用器件這一特性可以檢測(cè)H2。而燒結(jié)溫度為400℃制成的器件,工作溫度為200℃時(shí),對(duì)H2、CO的靈敏度曲線形狀都近似呈直線,但對(duì)CO的靈敏度要高得多,可以制成對(duì)CO敏感的氣體傳感器。
還有采用絲網(wǎng)印刷工藝制成的厚膜器件和混合膜器件,這類器件具有集成度高,組裝容易,使用方便,便于批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。 電阻型氣體傳感器的一種典型結(jié)構(gòu),它主要南SnO2敏感元件、加熱器、電極引線、底座及不銹鋼網(wǎng)罩組成。這種傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,可以檢測(cè)還原性氣體、可燃性氣體、蒸氣等。
非電阻型也是一類較為常見的半導(dǎo)體氣敏器件,這類器件使用方便,無需設(shè)置工作溫度,易于集成化,得到了廣泛應(yīng)用。主要有結(jié)型和MOSFET型兩種。 結(jié)型氣敏傳感器件又稱氣敏二極管,這類氣敏器件是利用氣體改變二極管的整流特性來工作的。其結(jié)構(gòu)如下圖左圖所示。它的原理是:貴金屬Pd對(duì)氫氣具有選擇性,它與半導(dǎo)體接觸形成接觸勢(shì)壘。當(dāng)二極管加正向偏壓時(shí),從半導(dǎo)體流向金屬的電子將增加,因此正向是導(dǎo)通的。