冷鏡式露點(diǎn)儀不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會(huì)結(jié)露。采用光電檢測(cè)技術(shù)，檢測(cè)出露層并測(cè)量結(jié)露時(shí)的溫度，直接顯示露點(diǎn)。鏡面制冷的方法有：半導(dǎo)體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。冷鏡式露點(diǎn)儀采用的是直接測(cè)量方法，在保證檢露準(zhǔn)確、鏡面制冷高效率和精密測(cè)量結(jié)露溫度前提下，該種露點(diǎn)儀可作為標(biāo)準(zhǔn)露點(diǎn)儀使用。目前國(guó)際上最高精度達(dá)到±0.1℃(露點(diǎn)溫度)，如歐伯特公司的S8000，S4000、Optidew Vision、Optidew等，一般精度可達(dá)到±0.5℃以內(nèi)。
露點(diǎn)儀的應(yīng)用相對(duì)濕度RH%和露點(diǎn)dpoC 都是濕度常用的單位； 根據(jù)實(shí)際運(yùn)用的不同，工程師們會(huì)使用不同的單位。相對(duì)濕度是和環(huán)境溫度有關(guān)，所以提到相對(duì)濕度，必須同時(shí)指明環(huán)境溫度，否則是沒(méi)有意義的；露點(diǎn)是和環(huán)境溫度沒(méi)有關(guān)系的。同一露點(diǎn)值，在不同的環(huán)境溫度條件下，對(duì)應(yīng)于不同的相對(duì)濕度。所以，在等壓條件下，某一給定氣體的露點(diǎn)值是唯一的，而其相對(duì)濕度則根據(jù)環(huán)境溫度的變化而有很多值。
露點(diǎn)儀還可應(yīng)用于石化行業(yè)：化工廠需要檢測(cè)各種工業(yè)氣體的水分，如醇/烴/烯類等。露點(diǎn)儀是非常合適的產(chǎn)品。紡織行業(yè)：紡織和輕工業(yè)對(duì)PET切片的水分要求很嚴(yán)格，可用露點(diǎn)儀檢測(cè)干燥氣來(lái)滿足其要求。通訊行業(yè)：在微波通訊中常用波導(dǎo)管來(lái)代替連接到雷達(dá)或微波通訊天線的電纜，為了降低能量損耗經(jīng)常需要干燥空氣或氦氣去清潔波導(dǎo)管。這就需要用露點(diǎn)儀檢測(cè)干燥氣的濕度。電子行業(yè)：在某些高精密的電子線路和半導(dǎo)體設(shè)計(jì)中，常需要干燥清潔的環(huán)境，以保持其可靠性，或者需要干燥的惰性氣體來(lái)制造密封艙環(huán)境。因此需要用露點(diǎn)儀檢測(cè)其濕度。