
可知SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料具有氣敏效果. 由這些金屬氧化物制成的氣敏膜是阻抗元件,在氣體分子和敏感膜之間交換離子,發(fā)生還原反應(yīng),引起敏感膜電阻的變化。 作為傳感器,這種反應(yīng)必須是可逆的,即為了去除氣體分子,必須發(fā)生一次氧化反應(yīng)。 傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧化反應(yīng)進(jìn)程。
也有選用油墨印刷加工工藝做成的厚膜元器件和混和膜元器件,這種元器件具備處理速度高,拼裝非常容易,方便使用,有利于大批量生產(chǎn)的優(yōu)勢。電阻器型氣體傳感器的一種典型性構(gòu)造,它關(guān)鍵南SnO2敏感元件、電加熱器、電級導(dǎo)線、基座及不銹鋼網(wǎng)罩構(gòu)成。這類控制器構(gòu)造簡易,方便使用,能夠 檢驗氧化性汽體、易燃性汽體、蒸汽等。
氣敏二極管的特性曲線可以看作二極管電壓的變化,如果場效應(yīng)管的閘門出現(xiàn),場效應(yīng)管的閾值電壓會發(fā)生變化。鈀與二氧化硅的界面,最終導(dǎo)致MOSFET的閾值電壓UT發(fā)生變化。使用時常將柵漏短接,可以保證MOSFET工作在飽和區(qū),此時的漏極電流ID=β(UGS—UT)2,利用這一電路可以測出氫氣的濃度。