旋片式真空泵是一種容積泵，它借助于旋片在泵腔中連續運轉將氣體吸入并壓縮，最后由排氣口排出。泵主要由定子、轉子、旋片等組成，轉子被偏心地裝入定子腔內。轉子槽中有兩塊旋片，旋片彈簧置于兩旋片之間。定子上的進、排氣口被轉子和旋片分離為兩部分。當轉子在定子腔內旋轉時，旋片在彈簧張力與本身離心力的共同作用下其端部緊貼于泵腔內壁滑動，周期性地將進氣口側的腔內容積擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口的容積，將已吸入的氣體壓縮，然后從排氣口排出從而達到抽氣的目的。
旋片式真空泵多為中小型真空泵。旋片式真空泵有單級旋片真空泵和雙級真空泵兩種。所謂雙級旋片式真空泵，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片式真空泵的抽速與入口壓強的關系規定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和 20%。 雙級泵工作原理圖，它由兩個單級泵串聯組成。工作時，被抽氣體首先經吸氣筒進入高真空級。當吸入氣體壓強較高時，一部分氣體由排氣閥2排出，另一部分氣體經低真空級，由排氣閥1排出。 當吸入氣體壓強較低時，雖經高真空級壓縮，但排氣閥2仍不能打開排氣，只能經低真空極繼續壓縮，由排氣閥1排出，因雙級泵的極限真空比單級泵高。
真空泵使用一個時期后（一般為3000小時），須進行檢修。目的：1.檢查各部分零件是否有損壞情況，并進行修理、調換。2.將泵進行一次徹底清洗工作。3.調換軸封、閥片、易損件和更換新油。步驟：1.拆卸管道，防護罩，三角皮帶，連接水管，將泵移出工作場所。2.放出真空泵油，放出冷卻水。3.拆排氣帽，油箱蓋。擋油罩，排氣閥片，排氣閥座及吸氣筒，過濾網。4.拆皮帶輪，拆軸封壓蓋，取出軸封隔環。5.先拆后定子蓋，取出小轉子及其它零部件，再拆前定子蓋，取出大轉子及其他零部件，對所有 零部件進行檢查，用汽油徹底清洗，熱風吹干或進行干燥處理，裝配時要防灰塵，砂石，鐵屑落入泵內，此外在旋緊螺釘、螺母時，整個裝配面要逐漸擰緊避免因裝配不平漏氣，泵裝配完畢后，注入少量真空泵油后，用手轉動皮帶輪。