1.停旋片式真空泵將熱油放掉。2.旋上放油塞運轉5—10秒。3.將油放盡。4.注入清洗用油(32號普通機械油)到油窗高度的3/4處。5.運轉XD旋片式真空泵5—10分鐘。6.停泵，將油放掉。如油尚不能達到要求，重復4、5步驟。7.旋上放油塞運轉5—10鈔。8.將油放盡。如果泵溫明顯升高、電動機電流達到或超過額定電流，泵排氣口有油煙產生，則應檢查排氣過濾器是否堵塞，如堵塞，應及時更換。可在泵加油孔處安裝排氣壓力表，檢查過濾器是否堵塞。當壓力超過0．6bar(表壓力)時更換排氣過濾器。9.注入規定的新旋片式真空泵油。
產生原因：1.泵油中有可凝物或氣體；2.測量方法或儀器不正確；3.用錯油或油被污染；4.油封滲漏；5.管路密封不嚴密；6.油箱內油量不足；7.進氣口濾網堵塞；8.進氣管道過長或過窄；9.葉片卡住或嚴重磨損；10.泵體磨損；11.“O”形圈變形老化；12.吸氣閥失效。解決方法：1.封閉進氣口運轉60分鐘；2.使用正確的測量方法或儀器；3.換規定的新油；4.調換油封；5.檢查管路連接處密封情況清除泄漏；6.檢查油位；7.清潔進氣口濾網；8.使用粗而短的進氣管道；9.調換葉片；10.送生產廠家修復或更換；11.調換“O”型密封圈；12.檢查吸氣閥動作是否靈活。
XD型旋片式真空泵應水平安放。同于泵運轉時幾乎沒有振動一般可不固定。XD旋片式真空泵底部減振墊塊上有公制螺孔用以固定泵，不要在地面上推拉泵，以免損壞減振墊塊。為保證XD型旋片式真空泵得到良好的冷卻，泵冷卻空氣進風口和出風口應距周圍物體750px以上。為便于維修，建議在XD旋片式真空泵進氣口和排氣口前留0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。XD型旋片式真空泵發運的泵不帶油。安裝后，通過加油口緩慢注入所規定的真空泵油，到油窗高度的3/4處。