
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。以多孔SnO2陶瓷為基底材料,再添加不同的其他物質,用制陶工藝燒結而成,燒結時埋入加熱電阻絲和測量電極。此外,也有用蒸發和濺射等工藝制成的薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動態特性好。
固體電解質是一種具有與電解質水溶液相同的離子導電特性的固態物質,當用作氣體傳感器時,它是一種電池。它無需使氣體經過透氣膜溶于電解液中,可以避免溶液蒸發和電極消耗等問題。由于這種傳感器電導率高,靈敏度和選擇性好,幾乎在石化、環保、礦業、食品等各個領域都得到了廣泛的應用,其重要性僅次子金屬—氧化物一半導體氣體傳感器。
固定PO2(1)實際上是(-)極形成一個電位固定的電極,即參比電極,有氣體參比電極和共存相參比電極兩種。氣體參比電極可以是空氣或其他混合氣體,如:H2一H2O,CO一CO2也能形成固定的PO2(1)。共存相參比電極是指金屬-金屬氧化物、低價金屬氧化物-高價金屬氧化物的混合粉末(固相),這些混合物與氧氣(氣相)混合發生氧化反應能形成同定的氧壓,因此也能作為參比電極。