旋片式真空泵多為中小型真空泵。旋片式真空泵有單級旋片真空泵和雙級真空泵兩種。所謂雙級旋片式真空泵，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片式真空泵的抽速與入口壓強的關系規定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa 和 1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和 20%。 雙級泵工作原理圖，它由兩個單級泵串聯組成。工作時，被抽氣體首先經吸氣筒進入高真空級。當吸入氣體壓強較高時，一部分氣體由排氣閥2排出，另一部分氣體經低真空級，由排氣閥1排出。 當吸入氣體壓強較低時，雖經高真空級壓縮，但排氣閥2仍不能打開排氣，只能經低真空極繼續壓縮，由排氣閥1排出，因雙級泵的極限真空比單級泵高。
應經常檢查油位和油的污染情況(建議每周一次)。如油位過低應停旋片式真空泵加入合適的真空泵油至油窗高度的4/5處。如果油被污染油將發黑、乳化、變稠、應及時換油。旋片式真空泵建議泵第一次工作滿150小時后換油。以后每工作500小時換油。換油同時，應更換油過濾器。如果油受污染發黑、乳化、變稠應及時換油。并在加入新油之前清洗泵。
真空泵使用一個時期后（一般為3000小時），須進行檢修。目的：1.檢查各部分零件是否有損壞情況，并進行修理、調換。2.將泵進行一次徹底清洗工作。3.調換軸封、閥片、易損件和更換新油。步驟：1.拆卸管道，防護罩，三角皮帶，連接水管，將泵移出工作場所。2.放出真空泵油，放出冷卻水。3.拆排氣帽，油箱蓋。擋油罩，排氣閥片，排氣閥座及吸氣筒，過濾網。4.拆皮帶輪，拆軸封壓蓋，取出軸封隔環。5.先拆后定子蓋，取出小轉子及其它零部件，再拆前定子蓋，取出大轉子及其他零部件，對所有 零部件進行檢查，用汽油徹底清洗，熱風吹干或進行干燥處理，裝配時要防灰塵，砂石，鐵屑落入泵內，此外在旋緊螺釘、螺母時，整個裝配面要逐漸擰緊避免因裝配不平漏氣，泵裝配完畢后，注入少量真空泵油后，用手轉動皮帶輪。