露點儀是能直接測出露點溫度的儀器。使一個鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現露滴（或冰晶）的瞬間，測出鏡面平均溫度，即為露（霜）點溫度。它測濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學探測系統。使用時必須使吸入樣本空氣的管道保持清潔，否則管道內的雜質將吸收或放出水分造成測量誤差。
露點儀的測量方法有很多，不同的測量方法，側重于不同的濕度單位，當然也可以計算轉換成其他的濕度單位。電容式濕度傳感器直接測量的是相對濕度和環境溫度，可以計算出露點值；阻抗式濕度傳感器和冷鏡式露點儀都直接測量的是露點值，通過環境溫度可以計算出相對濕度。濕度范圍:通常來說，當濕度趨向于低濕范圍的時候，使用露點單位更加精確合理。因為在低濕情況下，相對濕度已經不能夠準確反映濕度的變化， 而露點仍然可以非常精確的對應出微小的濕度變化；在其他濕度范圍內，露點和相對濕度都可以并用
在藥廠，電子廠，卷煙廠，紡織廠，軍工廠等許多受控環境下，大量的采用各種的相對濕度傳感器對環境濕度參數進行監測。受環境因素的影響，以及傳感器本身的材料特性所決定，電容式相對濕度傳感器都存在漂移的危險， 這使得某些關鍵工藝環節的濕度不是100%受控。冷鏡原理是最基本的濕度測量方法，對露點進行直接測量。冷鏡式露點儀的優點是精度高，響應快，反應敏捷，重復性好，可以做到‘零’漂移； 通過冷鏡式露點儀參與環境控制，可以有十足的信心確保關鍵環節的濕度參數盡在掌握之中。