時(shí)間測(cè)量的原理,在發(fā)光的激光照射到物體并返回的時(shí)間內(nèi)測(cè)量距離。不會(huì)影響工件的表面狀態(tài)，可進(jìn)行穩(wěn)定檢測(cè)。檢測(cè)右圖中接收激光反射光的時(shí)間T，并計(jì)算距離Y。計(jì)算公式： 2Y（往返距離） = C（光速） × T（接收反射光的時(shí)間）。共焦測(cè)量的原理測(cè)量部?jī)?nèi)部有鏡頭。鏡頭分別有固定的焦點(diǎn)距離，鏡頭的焦點(diǎn)距離設(shè)定為 F。使用該鏡頭聚光時(shí)，高度為 F 時(shí)則焦點(diǎn)重合 ，光線聚為１點(diǎn)。高度偏離 F 時(shí)，光線逐漸變模糊。
激光器首先使工作物質(zhì)的原子反常地多數(shù)處于高能級(jí)(即粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布),就能使受激輻射過程占優(yōu)勢(shì)，從而使頻率為v 的誘發(fā)光得到增強(qiáng)，并可通過平行的反射鏡形成雪崩式的放大作用而產(chǎn)生大的受激輻射光，簡(jiǎn)稱激光。激光具有3 個(gè)重要特性。高亮度，利用激光束會(huì)聚最高可產(chǎn)生達(dá)幾百萬度的溫度。高單色性，激光的頻率寬度比普通光小10 倍以上。高方向性(即高定向性，光速發(fā)散角小)，激光束在幾公里外的擴(kuò)展范圍不過幾厘米。
在激光多普勒振動(dòng)速度測(cè)量?jī)x中，由于光往返的原因,fd =2v/λ。這種測(cè)振儀在測(cè)量時(shí)由光學(xué)部分將物體的振動(dòng)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的多普勒頻移,并由光檢測(cè)器將此頻移轉(zhuǎn)換為電信號(hào),再由電路部分作適當(dāng)處理后送往多普勒信號(hào)處理器將多普勒頻移信號(hào)變換為與振動(dòng)速度相對(duì)應(yīng)的電信號(hào)，最后記錄于磁帶。這種測(cè)振儀采用波長(zhǎng)為6328埃(┱)的氦氖激光器，用聲光調(diào)制器進(jìn)行光頻調(diào)制，用石英晶體振蕩器加功率放大電路作為聲光調(diào)制器的驅(qū)動(dòng)源，用光電倍增管進(jìn)行光電檢測(cè)，用頻率跟蹤器來處理多普勒信號(hào)。它的優(yōu)點(diǎn)是使用方便，不需要固定參考系,不影響物體本身的振動(dòng),測(cè)量頻率范圍寬、精度高、動(dòng)態(tài)范圍大。缺點(diǎn)是測(cè)量過程受其他雜散光的影響較大。