產生原因：1.泵油中有可凝物或氣體；2.測量方法或儀器不正確；3.用錯油或油被污染；4.油封滲漏；5.管路密封不嚴密；6.油箱內油量不足；7.進氣口濾網堵塞；8.進氣管道過長或過窄；9.葉片卡住或嚴重磨損；10.泵體磨損；11.“O”形圈變形老化；12.吸氣閥失效。解決方法：1.封閉進氣口運轉60分鐘；2.使用正確的測量方法或儀器；3.換規定的新油；4.調換油封；5.檢查管路連接處密封情況清除泄漏；6.檢查油位；7.清潔進氣口濾網；8.使用粗而短的進氣管道；9.調換葉片；10.送生產廠家修復或更換；11.調換“O”型密封圈；12.檢查吸氣閥動作是否靈活。
真空泵使用一個時期后（一般為3000小時），須進行檢修。目的：1.檢查各部分零件是否有損壞情況，并進行修理、調換。2.將泵進行一次徹底清洗工作。3.調換軸封、閥片、易損件和更換新油。步驟：1.拆卸管道，防護罩，三角皮帶，連接水管，將泵移出工作場所。2.放出真空泵油，放出冷卻水。3.拆排氣帽，油箱蓋。擋油罩，排氣閥片，排氣閥座及吸氣筒，過濾網。4.拆皮帶輪，拆軸封壓蓋，取出軸封隔環。5.先拆后定子蓋，取出小轉子及其它零部件，再拆前定子蓋，取出大轉子及其他零部件，對所有 零部件進行檢查，用汽油徹底清洗，熱風吹干或進行干燥處理，裝配時要防灰塵，砂石，鐵屑落入泵內，此外在旋緊螺釘、螺母時，整個裝配面要逐漸擰緊避免因裝配不平漏氣，泵裝配完畢后，注入少量真空泵油后，用手轉動皮帶輪。
二、旋片式真空泵噪音：這里指泵的噪音。1、敲缸，泵運轉時發出不規律的響聲，似金屬敲打金屬的聲音。這是旋片在擊打泵體發出的聲音。這種情況主要是配對旋片間的彈簧斷或者是收縮或彈出失效造成的。解決之道：打開泵檢查旋片彈簧是否損壞。更換好的彈簧。2、排氣閥片噪音，主要是泵的排氣閥片破損。解決之道：更換好的排氣閥片。