露點儀是能直接測出露點溫度的儀器。使一個鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現露滴（或冰晶）的瞬間，測出鏡面平均溫度，即為露（霜）點溫度。它測濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學探測系統。使用時必須使吸入樣本空氣的管道保持清潔，否則管道內的雜質將吸收或放出水分造成測量誤差。
露點儀的應用相對濕度RH%和露點dpoC 都是濕度常用的單位； 根據實際運用的不同，工程師們會使用不同的單位。相對濕度是和環境溫度有關，所以提到相對濕度，必須同時指明環境溫度，否則是沒有意義的；露點是和環境溫度沒有關系的。同一露點值，在不同的環境溫度條件下，對應于不同的相對濕度。所以，在等壓條件下，某一給定氣體的露點值是唯一的，而其相對濕度則根據環境溫度的變化而有很多值。
在藥廠，電子廠，卷煙廠，紡織廠，軍工廠等許多受控環境下，大量的采用各種的相對濕度傳感器對環境濕度參數進行監測。受環境因素的影響，以及傳感器本身的材料特性所決定，電容式相對濕度傳感器都存在漂移的危險， 這使得某些關鍵工藝環節的濕度不是100%受控。冷鏡原理是最基本的濕度測量方法，對露點進行直接測量。冷鏡式露點儀的優點是精度高，響應快，反應敏捷，重復性好，可以做到‘零’漂移； 通過冷鏡式露點儀參與環境控制，可以有十足的信心確保關鍵環節的濕度參數盡在掌握之中。