氟化氫分子量20（空氣29），比空氣重，泄漏后像水一樣往低處流、往溝槽里沉積。所以報(bào)警器必須"蹲"在地面附近，才能第一時(shí)間捕捉到。
若現(xiàn)場(chǎng)有明顯熱源或強(qiáng)通風(fēng)導(dǎo)致氣體上升，則改為距頂棚 30～60 cm。
| 區(qū)域 | 裝在哪 | 為什么 |
|---|---|---|
| 儲(chǔ)罐區(qū) | 罐體底部四周、防火堤內(nèi)側(cè)，每隔約5m布一個(gè) | HF液體泄漏后氣化沉積在罐底 |
| 管道系統(tǒng) | 法蘭、彎頭、閥門(mén)正下方，距泄漏源≤1m | 接頭是最常見(jiàn)泄漏點(diǎn) |
| 蝕刻機(jī)/反應(yīng)釜 | 設(shè)備排氣口下方、操作臺(tái)下方 | 捕捉工藝逸散氣體 |
| 半導(dǎo)體潔凈室 | 氣體供應(yīng)柜下方、排風(fēng)管道口下方 | 防止HF擴(kuò)散至非工藝區(qū) |
| 實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)櫥 | 櫥內(nèi)下部，距臺(tái)面30～60cm | 防止實(shí)驗(yàn)過(guò)程中氣體逸出 |
| 緊急出口/疏散通道 | 距地面40cm墻面 | 保障人員撤離時(shí)被監(jiān)控 |
| 露天場(chǎng)所 | 主導(dǎo)風(fēng)向下風(fēng)側(cè)，距釋放源≤5m，加裝防水罩 | 確保氣體飄過(guò)來(lái)時(shí)能檢測(cè)到 |
| ? 禁止位置 | 原因 |
|---|---|
| 通風(fēng)口、換氣扇、房門(mén)旁 | 氣流把氣體吹散稀釋?zhuān)瑱z測(cè)不到 |
| 蒸汽/油煙直吹處（廚房、鍋爐房） | 堵塞傳感器，誤報(bào)或失靈 |
| 相對(duì)濕度 ≥95%RH 的地方 | 傳感器受潮失效 |
| 溫度 < -40℃ 或 > 65℃ | 損壞設(shè)備 |
| 強(qiáng)電磁場(chǎng)旁（電機(jī)、變頻器） | 干擾信號(hào)，讀數(shù)漂移 |
| 陽(yáng)光直射/雨水淋濕處 | 加速老化 |
| 墻角死角、設(shè)備背后被遮擋處 | 容易被撞壞，氣流不通 |
| 項(xiàng)目 | 要求 |
|---|---|
| 固定方式 | 膨脹螺絲/專(zhuān)用支架，牢固固定在墻面或立柱上 |
| 傳感器朝向 | 必須朝下 |
| 布線 | 三芯屏蔽電纜（RVVP 3×0.75），穿金屬管保護(hù) |
| 接地 | 屏蔽網(wǎng)單端接地，防止靜電 |
| 防爆場(chǎng)所 | 選ExdⅡCT6防爆型，電纜穿金屬管，傳感器密封朝下 |
| 控制器位置 | 壁掛在值班室/控制中心，距地面約1.6m，便于監(jiān)控 |
HF比空氣重 → 裝低不裝高 → 離泄漏源越近越好 → 避開(kāi)風(fēng)口和高濕
